高性能压力传感器攻克“卡脖子”技术仪表产业

当前，我国科技事业实现了历史性、整体性、格局性重大变化，重大创新成果竞相涌现，一些前沿方向开始进入并行、领跑阶段。但也应看到，我国科技领域仍然存在一些亟待解决的问题，关键核心技术受制于人的局面没有得到根本性改变，亟待集中力量奋力攻关。

　　压力传感器是工业实践中较为常用的一种传感器，一般普通压力传感器的输出为模拟信号，模拟信号是指信息参数在给定范围内表现为连续的信号。玩够哦要加速形成从传感器研究开发到大生产一条龙的产业化发展模式，走自主创新和国际合作相结合的跨越式发展道路，使我国成为世界传感器的生产大国。攻克“卡脖子”技术较为重要。

　　近日，中南大学和中国电子科技集团公司第四十八研究所联合承担的长沙市重大专项航空发动机用高性能压力传感器的开发及应用项目通过验收，此举意味着该项“卡脖子”关键技术得以攻克。

　　该项目于2018年立项，依托中电四十八所和中南大学，着力开展高性能压力传感器的研究与开发，打破国外公司封锁。经过三年的科技攻关，项目组攻克了敏感电阻精准掺杂、SOI压敏芯片制造、无引线压力传感器封装等关键工艺和技术。

　　其研制出的高性能SOI压力传感器器件，在某型号航空发动机上进行了应用验证，性能达到国际先进水平，打破了国外高端压力传感器的封锁，解决了耐高温压力传感器的“卡脖子”技术问题，为更高温度压力传感器的研制奠定重要的理论和技术基础。